工作原理

Alicat层流压差式质量流量计与高可调比的电磁比例阀结合，再配合高效率的PID控制算法，组成气体质量流量控制-反馈回路，实现气体质量流量的监控，这就是Alicat MFC的工作原理。

除了质量流量控制模式，Alicat MFC还可以切换到体积流量控制器模式，压力（绝压或表压）控制模式，在对应的控制模式下可以实现不同参数变量的控制。

主要特点

Alicat 质量流量控制器具有以下特点：

1.响应快：特殊的结构和工作原理，最快可达到100ms响应，响应时间与实际工况和PID参数设置有关，可通过调节PID值改变响应速度和流量稳定度。

2.无需预热：上电即可使用，无需提前预热，节省了等待时间。

3.多参数测量/控制：内置温度、压力传感器，可同时显示气体压力、温度、质量流量、体积流量等多种参数，可选择控制质量流量、体积流量或压力。如果选配了累计流量功能，还可以控制批量气体累计流量。

4.背光液晶屏：具有单色或彩色液晶屏，带屏幕背光灯，可以更直观的查看实时数据，方便读数和调试。

5.支持上百种气体：内置100多种气体的校准数据，切换气体模式后即可测量/控制不同气体，无需换算或重新校准。

6.通讯和操作模式：有多种数字通讯和模拟信号模式可供选择，以便采集和记录数据，也有面板按键可手动操作调试。

7.精度：普通精度为±（0.8%读数+0.2%量程）；高精度为±（0.4%读数+0.2%量程）。

8.量程：量程范围宽，可定制。常规流量计最小量程为0~0.5SCCM，最大量程为0~5000SLPM。量程比200:1。

型号系列

Alicat质量流量控制器产品有多种不同系列，以满足不同客户和应用的需求。

典型应用

1. 气体混合、稀释，标准气体发生器流量控制。常用型号：MC, MCR, MCS, Basis。

2. 大气采样仪、分析仪器气体流量控制。常用型号：MC，MCS，MCR。

3. 燃烧控制，火焰温度控制。常用型号：MC, MCR, MCRW, Basis。

4. 氮化炉、多用炉内气氛控制。常用型号：MCR，MCRS，LCS。

5. 光伏制造，多晶硅炉气氛控制。常用型号：MCH，MCR。

6. 生物发酵罐气氛控制。常用型号：MC，Basis。

7. 新能源、燃料电池测试系统。气体流量或压力控制。常用型号：MC, MCR, PCR。

8. 光纤制造。常用型号：MC。

9. 泄漏检测。常用型号：MC，MCW，MCD。

10. 真空镀膜。常用型号：MC，MCV。

11. 高压应用。常用型号：MCQ。

选型参数

为了选择适合你应用的质量流量控制器，我们需要确定以下参数。

如果您有应用或选型方面的疑问，欢迎联系我们，我们诚挚的希望可以帮到您！