日本KOFLOC 5400系列质量流量控制器：

虽然外观是传统产品，但传感器驱动方法已得到改进，以减少零漂移。
它是一种通过金属密封结构具有高气密性的产品，并增加了切口接头。

金属密封，泄漏率1*10-11pa·m³/s以下

适用于高真空、半导体、剧毒、强腐蚀气体环境下

±15VDC供电性能稳定，0-5V模拟信号更加通用

日本KOFLOC 5400系列质量流量控制器

性能参数：

 电器连接：

   ★使用注意

一：进气管道上建议安装上的过滤器、油水分离器使用，保证气体的干燥干净《湿度不超过90%(一定不能进水)、杂质粉尘不超过20微米》。

二：用肥皂水对管路进行泄漏检测时，只能将肥皂水喷洒在管路接头上，不能喷在仪表或电气插头上。

三：安装前，请将设备管路进行整体吹扫。

四：耐压1.0Mpa，进口大压力5公斤。

五：需要进行零点漂移清零的时候，确认进/出口没流量没压力下 再操作。

警告

流量范围附带的规格（流量范围，精度等）是N2或空气转换中的规格。
有关MFC规格，请单独查询。

接线连接

Dsub 9针KFC标准引脚排列

日本KOFLOC 5400系列质量流量控制器

尺寸图：